二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II Metal #9274959 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS Centura DPS II Metal是一种干式等离子体蚀刻器和asher设备，专门设计用于加工基于半导体的材料以创建各种器件结构。该系统能够以最高的精度和精度产生精确的蚀刻和灰化结果。AMAT Centura DPS II Metal可以完成金属和介电层的蚀刻和灰化过程,以及各种不同的设备结构,如接触孔、栅极堆栈和阵列扩散区域。它使用一种称为等离子体增强化学气相沉积（PECVD）的高级蚀刻工艺来蚀刻和加工材料，然后再进行沉积工艺。这种先进的蚀刻工艺能够为广泛的应用要求提供选择性和较高的蚀刻速率。APPLIED MATERIALS Centura DPS II Metal通过多种精密的设计功能实现了精确的性能。这些特点包括其先进的等离子体加工室，该室设计用于在广泛的基材尺寸和结构上提供均匀的蚀刻。10kW射频匹配网络是设备的独特功能,因为它允许操作员将蚀刻过程调整到各种不同的基板和工艺条件。机器的其他先进功能包括其先进的光学还原能力，这有助于提供对整个蚀刻过程的高级监视，以及其获得专利的反应性离子蚀刻（RIE）技术，该技术能够在大面积上实现均匀蚀刻。Centura DPS II还包括一系列底物处理工具,以进一步增强其能力。这些工具包括一个在蚀刻和灰化过程中有效清除污染物的自清洁基板室，以及一个内置的离子轰击能力，可用于加速该过程的蚀刻速率。还提供了一个可选的温度控制单元,使操作员能够在较大的处理温度范围内处理各种材料。Centura DPS II Metal是一款高度可靠的蚀刻和灰化工具,具有卓越的性能。该资产还具有直观的图形用户界面，使操作员对蚀刻过程有了清晰的了解。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II Metal凭借其先进的加工特性,在各种材料的蚀刻和粉刷方面可提供最高精度和精确度,使其成为加工和开发高性能半导体器件的理想模型。