二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II Metal #9293613 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II Metal是一种专为处理硅晶片而设计的先进蚀刻/冲洗设备。该系统具有最新的等离子体源和反应性气体输送装置,可对浆液和多晶硅蚀刻产品进行精确蚀刻和粉刷。AMAT Centura DPS II Metal能够提供卓越的工艺性能和出色的可重复性,最多可在盒式磁带上安装20个晶圆,同时确保更大作业的高吞吐量。APPLIED MATERIALS Centura DPS II Metal配备了AGT Ceramis IC Machine,可实现更快的处理速度,获得更高的精度和更可靠的蚀刻结果。该工具结合了智能实时气体监测资产,以保持每个配方的最佳蚀刻参数。AGT Ceramis IC模型还提供了均匀的等离子体蚀刻晶片工艺,确保了高可重复性和优越的蚀刻选择性。Centura DPS II Metal搭载了一流的1.6 kW CINF等离子体发电机,确保了更高的功率效率和卓越的干蚀效果。等离子体发电机能够以高通量速度在整个晶片表面提供均匀蚀刻。发电机还采用了先进的均匀性控制,提高了整个晶片蚀刻的一致性。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II Metal还配备了视觉检查设备,可提供卓越的重复性,并确保微观结构和方面的精确蚀刻。该系统还配备了先进的无尘液体输送装置,最大限度地减少了污染的可能性,减少了停机时间。AMAT Centura DPS II Metal还提供了改进的安全性,最新的高性能安全系统确保了对用户的卓越保护。该机器具有多种安全联锁和自我诊断功能,可防止发生危险情况,并允许在检测到问题时快速解决问题。最后,APPLIED MATERIALS Centura DPS II Metal是一种高级且高度可靠的蚀刻/灰化工具,专为处理硅片而设计。它具有智能实时气体监测资产,有助于保持最佳蚀刻参数,并在晶圆表面提供均匀的等离子体蚀刻过程。此外,它还配备了最新的安全系统,以实现卓越的保护和最小化风险。
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