二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II Poly #293820235 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS Centura DPS II Poly是一种蚀刻器和asher，用于各种半导体制造工艺。它是将湿化学蚀刻技术与干电阻蚀刻技术相结合，提高工艺效率和产量的最先进的工具。AMAT Centura DPS II Poly 蚀刻器/asher可用于RIE（反应性离子蚀刻）和DRIE（深度反应性离子蚀刻）工艺步骤。它能够处理尺寸可达8英寸的晶片，并使用多种基材材料，包括硅、砷化​​氙、氮化移铵以及其他III-V和II-VI材料。PLICED MATERIALS Centura DPS II Poly 蚀刻器/asher配备了先进的功能,包括最佳等离子体源、静电卡盘、具有两个温度区的晶圆温度控制、无侵入式负载锁、两个魔杖再循环罐和一个远程形状发生器。最佳等离子体源使用户能够监测和调整等离子体参数，从而提高工艺效率和产量。静电卡盘提供精确可靠的晶圆平整度,确保均匀的蚀刻效果.晶圆温度控制功能利用两个温度区来保证蚀刻室内的温度均匀性，从而促进了蚀刻均匀性和重复性的提高。无创载荷锁有助于减少蚀刻去除室内部的污染，并最大限度地减少颗粒产生和工艺步骤之间的交叉污染。两棒再循环罐使用户能够将工艺浴保持在优化的温度下，从而获得更好的蚀刻效果。最后,远程形状生成器使用户能够快速生成所需的阵列几何,从而增加了对蚀刻过程的控制级别。综上所述,Centura DPS II Poly 蚀刻器/Asher是一种高性能工具,它提供高级功能,使用户能够蚀刻各种晶圆尺寸和材料,从而提高工艺效率和产量。其最优等离子体源、静电卡盘、带两个温区的晶片温度控制、无创载荷锁、双棒再循环罐和远程形状发生器，为用户提供了放心地进行精确蚀刻和灰化工艺步骤的工具。