二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II Poly #9275303 待售
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ID: 9275303
晶圆大小: 12"
优质的: 2006
Poly etcher, 12"
EFEM
TM
(3) DPS2
Axiom
AC Rack
2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II Poly是一款高级蚀刻器/asher,专为返工应用而设计。它基于Centura蚀刻平台,具有独特的两步工艺,能够快速蚀刻和有效去除各种材料。该设备采用双旋特性设计,可实现可靠和可重复的处理,并具有均匀性和控制性。这使得蚀刻的方方面面,如选择性控制、工艺时间、光束功率、气体溷合以及工艺气体调整都可以精确定制,以最大的蚀刻精度和质量最大化工艺吞吐量。AMAT Centura DPS II Poly具有包含两个独立源的双源反应性离子蚀刻(RIE)源,具有对各自反应堆压力、等离子体功率和射频频率控制的独立控制。这样可以确保精确的蚀刻深度控制和均匀的蚀刻。该系统还包括内置过程监控,使用户能够定制蚀刻过程,监控质量保证,分析结果以确保最佳结果。应用材料Centura DPS II Poly还具有先进的设计,包括单独的等离子体源和阳极腔、互补的双频电源、精密控制的晶片级和夹紧装置以及动态气源输送机。该工具可以提供均匀的蚀刻轮廓以及蚀刻广泛材料的能力,包括金属、陶瓷、聚合物和复合材料。该资产还具有内置的自动化示例处理功能,以及高度可定制的流程和监控工具,为用户提供了灵活性、可重复的流程,并提高了生产效率。这种先进的蚀刻器/asher设计为产生高dt/dz的比例,为高长宽比结构的蚀刻提供了高度的选择性。Centura DPS II Poly 蚀刻器/asher专为工业生产线应用而设计,坚固可靠。它是返工应用的理想选择,具有出色的蚀刻轮廓控制、快速的清理时间和出色的均匀性,可提供高吞吐量。这种蚀刻器/asher为各种材料的快速精确蚀刻提供了绝佳的解决方桉。
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