二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II Poly #9293614 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS Centura DPS II Poly是一种用于制造用于微晶体管和其他集成电路的半导体元件的蚀刻器/粉碎器。这类设备使用添加或移除材料的过程来形成所需的结果。它是干蚀刻设备的一种，意思是用真空或等离子体来去除材料而不是液体蚀刻剂。蚀刻剂可以是有机金属化合物或气体。它主要用于硅，特别是磷硅酸盐和其他介电材料的加工。AMAT Centura DPS II Poly具有紧凑灵活的设计,具有多种功能,非常适合高精度处理。它配备了一个大的、4轴卡盘和强大的蚀刻室，由于其先进的工艺控制系统，能够实现高吞吐率。这项技术旨在提高工艺的可重复性和减少浪费。广泛监测和控制蚀刻工艺的结合确保了最高质量的结果。APPLICED MATERIALS Centura DPS II Poly还具有晶片入室加载机制、脉宽调制、精确一致地输送蚀刻剂以及紧密的亚微米蚀刻精度。此外,Centura DPS II Poly还有一个多区域电容补偿单元,旨在平衡基板表面并确保均匀蚀刻。它也有一个自动扫描光学机器，以最佳的成像和计量性能。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II Poly还提供了封闭的环境，有助于保持受控蚀刻化学，降低污染和除气的风险。它还有一个自动安全联锁工具，为人员和工具提供安全措施。此资产还能够自动创建配方和存储,从而减少了在蚀刻步骤之间设置所花费的时间。AMAT Centura DPS II Poly是广泛蚀刻应用的理想工具，从浅层沟槽隔离结构到先进的金属化层。由于其先进的蚀刻技术和过程控制,它非常适合要求高精度和可重复性的应用。这种高性能的蚀刻器/asher适用于先进的纳米电子加工，使其成为制造当代电子元件过程中的关键部分。