二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS Metal #9276067 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS Centura DPS Metal etcher/asher是一种非常先进的设备,用于金属的详细、可靠和精确的微加工。该系统将蚀刻和粉刷金属的能力与产生高精度、高精度和高生产率所需的功率结合在一起。此单元能够蚀刻和粉刷尺寸从2 um到20 um的金属特征。AMAT Centura DPS金属机采用环保、单面加工、串联等离子体源进行金属表面的干蚀刻和RIE灰化。在此工具中,低频电源用于维持等离子体环境以进行蚀刻或灰化过程。此过程可用于使用正向或负向光敏材料创建尺寸从2 um到20 um不等的特征。金属被加热到氧化温度，这时氧气被引入基材，生成金属氧化物。金属氧化物随后通过蚀刻和灰化工艺烧蚀，这些工艺是针对每种特定产品量身定制的。监测工艺参数，如腔室压力、气体化学、射频功率和等离子体生成，以确保一致性。该工艺可用于多种金属膜，如铜、镍、金、铝等。资产包括各种附加功能,以确保过程的稳定性和可靠性。这些功能包括先进的污染控制技术、清洁就地系统和集成自动化模型。该设备还可以与额外的外围系统集成在一起，如工后清洗系统和激光对准站，以达到最佳性能。该设备旨在满足客户对可重复性和过程控制的需求。APPLIED MATERIALS Centura DPS Metal etcher/asher是一种理想的机器,适用于光刻、薄膜、微制造、3D打印、MEMS等应用。该工具具有高精度、高效率、可重复性和可靠的工艺,可确保金属零件满足这些应用的高要求。AMAT已确保Centura DPS Metal资产满足客户需求,并为生产高性能金属设备和零件提供便利。