二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS Metal #9277563 待售
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ID: 9277563
晶圆大小: 8"
Metal etcher, 8"
(2) DPS R0 Metal chambers
(2) ASP Chambers
AC Controller rack
RF Rack
(2) AMAT / APPLIED MATERIALS Chillers
NESLAB 150 Chiller
(2) DTCU
Load locks: Wide body LL
Frame: Ph1
HP Robots
Orientor chambers
EDWARD IQDP Pumps
Chuck type: PI ESC
Signal tower
Hard Disk Drive (HDD)
Gas configuration:
DPS: BCl3, Cl2, N2, CF4
ASP: H2O, CF4, N2, O2.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS Metal是一种蚀刻器/asher,一种为半导体和微电子制造行业中的材料加工而设计的最先进的机器。它体积小,性能优越,成为芯片制造商的热门选择。AMAT Centura DPS Metal能够对各种材料进行精确的图样、清洁、干燥和蚀刻。APPLIED MATERIALS Centura DPS Metal专为高精度应用而设计。它利用多区域设备,提供精确的流量分布和温度控制,允许在各种基板上均匀蚀刻和灰化。该系统采用先进的运动控制,保证了层层形成的一致性和准确性。该单元还配备了一个电容耦合射频(CCRF)源,用于改进过程控制,提高吞吐量,提高精度。Centura DPS Metal还具有先进的清洁和干燥功能。该机设计为用多种清洁溶液冲走固体残留物,如颗粒、金属等。它还提供先进的干燥能力,允许迅速和均匀地清除液体残留物。这样可以确保最佳的基板性能和产品质量。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS Metal配备了自动化晶圆处理程序,支持最多四个晶圆的装卸。此工具可提供与顶部和底部负载夹具的连接,从而实现更好的工作流程。该资产还旨在通过最大限度地减少雾气和蒸气的产生来减少污染。此外,该模型的设计目的是通过使用封装组件和耐腐蚀材料来降低加工过程中的污染风险。AMAT Centura DPS Metal的设计目的是以低成本提高工艺的准确性和可重复性。其高性能和优越的特点使其成为半导体和微电子制造业可靠、经济实惠的选择。
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