二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS2 G5 #9286831 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS2 G5是一种先进的蚀刻/灰分设备,用于先进的半导体制造。它被设计用来蚀刻或灰介电和导电结构在硅片的尺寸达到300毫米。该系统具有强大的晶片支撑单元，利用静电夹紧机构确保晶片在整个过程中保持安全和精确的定位。这样可以防止将任何颗粒或污染物引入蚀刻或粉刷表面。AMAT Centura DPS2 G5还具有一组强大的加工室，包括主室、隔离室、舞台通道和推进室。主室是发生蚀刻或灰分的地方，具有强大的电子回旋共振（ECR）等离子体源，高效、可靠，寿命长。隔离室可进行选择性处理，并配有气体喷射机，确保材料在介电层之间的均匀沉积。舞台通道提供从负载容量站到主隔离室的安全和直接连接。该工具还具有许多高级过程控制功能,包括过程时间监控、高达1000 °C的温度控制、多配方功能以及包括功率和气流在内的等离子体控制。此外,APPLIED MATERIALS Centura DPS2 G5能够使用各种工艺化学方法（包括氟化学和金属化学）进行蚀刻或灰化,从而提高工艺灵活性。Centura DPS2 G5是一种强大而精确的蚀刻/灰分资产,非常适合任何先进的半导体制造设备。其先进的工艺控制能力、强大的晶片支持模型以及卓越的蚀刻/灰烬能力为设备制造提供了可靠有效的工具。