二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS2 #9384036 待售

AMAT AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS2是一种高级蚀刻器/asher,用于高生产率的高性能晶圆加工。它被设计为生产环境的"主力军",允许快速的吞吐量、准确的过程控制和出色的一致性,以及为满足特定客户需求而配置的灵活性。该DPS2采用具有超短脉冲特性的高通量脉冲电晕放电（PCD） 蚀刻/Asher设备,具有更大的工艺灵活性。它还包括一个高速轮廓控制器，提供了广泛的蚀刻轮廓，以及一个标准的负载锁定方桉能力，使系统非常适合蚀刻和灰化各种晶圆材料。该单元在两种运行模式中的一种运行,第一种模式是固定蚀刻时间模式,在该模式下,无论实际负载大小如何,都将在该时间内处理相同的负载。第二种模式是受控配置文件模式，根据从正在处理的晶圆获取的蚀刻配置文件调整时间。针对不同的材料和配方设置进行了调整。该DPS2利用先进的旋转屏蔽在蚀刻过程中达到均匀性，降低了晶圆边缘和骰子角蚀刻速率的可变性。这样就减少了产量损失，提高了晶圆质量。该机具有较高的吞吐量和灵活性，是满足大容量、高精度蚀刻和灰化需求的理想选择。它也非常适合各种研究和开发项目，在这些项目中，精密晶圆加工是必不可少的。DPS2的高温真空也使得它非常适合涉及晶片高温处理的应用。该DPS2提供了广泛的集成诊断和监控功能,以确保可靠的操作并优化产量。高级图形用户界面（GUI）也使得该工具极易控制和监控。还为客户提供技术支持和工艺工程。AMAT Centura DPS2是一种可靠且性能高的晶圆加工主力车,非常适合生产环境。