二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DT Hart #293624197 待售
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ID: 293624197
晶圆大小: 12"
优质的: 2002
Oxide etcher, 12"
EFEM
TM Module
(3) DT Hart
AC Rack
Chiller
2002 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DT Hart是一个高级蚀刻器/asher。这个先进的工具具有强大的能力,可以在可靠、可重复和一致的过程中蚀刻和粉刷晶片。它支持广泛的蚀刻化学和应用,具有出色的温度控制、工艺精度和较低的运营成本。AMAT Centura DT Hart具有工业级的6英寸石英蚀刻室,带有过氧化氢和氙气溷合物,提供出色的蚀刻均匀性和可靠的操作。最重要的是,使用数字可编程逻辑控制器来精确控制过程参数,包括腔室温度和压力。此外,该工具是围绕高效的三区加热设备设计的,它减少了加热时间和与温度循环相关的成本。该系统还通过对晶圆的蚀刻和蚀刻进行精确的温度控制来简化灰化/蚀刻过程。APPLIED MATERIALS Centura DT Hart是一款高效、经济高效的工具,适用于商业和研发应用。它有一个功能强大的自动化过程控制单元,能够提供低缺陷级别的高质量晶片。该机还确保可靠的过程控制,具有重复和一致的蚀刻结果。此外,该工具还配备了一套综合的分析组件,如多模质谱、固相微抽取、自动粒子通量控制等,可以对蚀刻化学品、腔室条件、晶片质量进行精确精确的测量。总体而言,Centura DT Hart是一种通用工具,可为各种应用程序提供高效可靠的灰化和蚀刻。它具有先进的温度控制和工艺精度,非常适合研发和商业生产。
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