二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Enabler E5 #293617885 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS Centura Enabler E5是一款先进的蚀刻器/asher，用于半导体制造和封装工艺。它能够对一系列材料进行高通量和高度可靠的蚀刻。它包括许多集成功能,旨在最大限度地提高生产效率和降低成本。AMAT Centura Enabler E5的核心是采用AMAT自己的CMx控制系统的全自动300毫米、基于腔室的蚀刻器/asher。该腔室既可用于湿蚀刻，也可用于等离子体蚀刻过程，使其成为一系列先进的器件结构测量和需要湿法和干法的器件封装的理想选择。它能够在一个通道内蚀刻硅、砷化氙（GaAs）等深度达250m的材料，也可用于多种其他应用，如切割、涂抹、堆迭多个后端晶片级芯片规模封装（Si WLCSP）装置。APPLIED MATERIALS Centura Enabler E5还支持多种蚀刻化学方法，包括氢氟酸（HF）、碳酸氢铵（NH4HCO3）、氢氧化四甲基铵（TMAH）、磷酸（H3PO4）、硫酸（H2）再者，系统也能够使用两条晶圆道进行多步蚀刻配方，允许同时进行多个晶圆的平行蚀刻。该腔室还包括集成的安全功能，如当二氧化氯或二氧化氮水平超过预设阈值时自动停止。它能够在高达150°C的温度下运行。此外，该腔室的设计旨在最大限度地减少来自背面晶圆颗粒的污染风险。总体而言,Centura Enabler E5是一款高级蚀刻器/asher,专为各种材料的高通量和可靠蚀刻而设计。它能够在一次蚀刻中蚀刻到250米的深度，并用于各种蚀刻化学。此外，该系统还具有一些旨在确保安全的功能，包括当气体含量超过预先设定的阈值时自动停止，并且能够在高达150°的温度下运行。