二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #293615044 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enabler是一种高度先进的加工反应堆,旨在实现高效和经济高效的集成设备制造（IDM）生产。它是一个经过优化的多腔系统，提供高通量和基质体积，同时显着降低等离子体损伤水平。该反应器设计用于支持扩展多种工艺技术，包括热氧化、氮化物沉积、低k介电沉积和光掩模蚀刻。它包括三个主要组件：主室、载荷锁和传递室。主室配有精密射频（RF）发电机，配合交流磁场，实现卓越的过程控制和均匀性。AMAT Centura Enabler能够在从0.02 Torr到760 Torr的广泛压力下运行。此外,它还具有多个基板冷却和加热阶段,以实现热退火和冷却过程。这使得热处理速度更快，并通过提供受控温度来最大化沉积薄膜的均匀性。适用于APPLIED MATERIALS Centura Enabler的集成负载锁允许处理更大的晶片，并通过氦套冷指技术进行冷却。这提供了更快的吞吐量和改进的基板均匀性。负载锁的环境隔离还可确保高效操作,并确保将无污染的基板加载到Centura Enabler中。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enabler还具有一个精密的转运室。这个腔室有助于精确的基板处理，由三轴机器人操作。此外，转移室与主室隔离，从而提供了良好的污染控制和过程重复性。总体而言，AMAT Centura Enabler是一个强大的反应堆，以显着降低的费用提供高质量的IDM生产。配备了一系列先进技术，提供卓越的性能、生产力和统一性。APPLIED MATERIALS Centura Enabler是一个功能强大的工具,非常适合IDM生产。
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