二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura MxP+ Super-E #9293833 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura MxP+Super-E Etcher/Asher是一款先进的精密湿蚀刻设备，设计用于高通量生产光电和半导体器件。该系统利用一系列工艺条件，提供高蚀刻速率，具有良好的表面平滑性和选择性。AMAT Centura MxP+Super-E的特点包括变速基板旋转器、高温处理室和多区温度控制平台。自动热管理可优化蚀刻均匀性,并且多个独立的工艺罐可实现多步骤蚀刻。该设备提供精确的温度控制、精确的过程控制、可重复的过程参数以及严格的环境合规性。APPLIED MATERIALS Centura MxP+Super-E具有先进的晶圆卡盘设计，与广泛的基材兼容，包括Si和III-V材料。可将卡盘加热至950°C进行氧化物蚀刻，并对精确的加热参数进行严密控制，以实现蚀刻均匀性、更高的吞吐量、更低的排斥率和提高的收率。强大的Enerjector™射频发生器提供精确程度的可控性，并在调整蚀刻参数时实现精确的过程控制。Centura MxP+Super-E提供经济实惠的湿蚀刻,满足具有挑战性的产量、均匀性和选择性要求。它还可以配置为多模块配置,以提高吞吐量并处理多个晶圆大小。机器还提供了广泛的化学和可重现蚀刻型材。它具有自动晶片到晶片均匀性以及可用于实时监控蚀刻过程的过程监视器。这确保了一致的结果,并有助于达到最高质量标准。