二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura XT ISD #293595648 待售

ID: 293595648
Poly etcher HTF / EPI / Poly chamber.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura XT ISD是一款先进的蚀刻器/asher,它利用最新的半导体技术来提供卓越的工艺控制和可重复性。该系统结合了单晶片加载和高精度蚀刻和灰化功能,以支持先进的工艺开发和生产工艺。AMAT Centura XT ISD具有自动化的过程控制平台,可实现可重复的结果。该系统还具有统一的气体分配设计,有助于保持均匀的蚀刻速率和统一的加工方向。这样可以确保在大量晶片上获得一致的蚀刻结果。APPLIED MATERIALS Centura XT ISD还具有较高的真空能力,每小时可达到150晶圆的吞吐量,非常适合生产过程。Centura XT ISD等离子体传感器的高分辨率支持用户实现所需的蚀刻速率。该传感器还能够在运行和进程中监控多个站点的蚀刻速率。此外,AMAT/APPLIED MATERIALS Centura XT ISD还具有实时电流馈送功能,可通过提供可调蚀刻速率来实现增强的蚀刻效果。AMAT Centura XT ISD还支持各种晶圆尺寸,并具有各种金属提升过程,使用户能够实现各种蚀刻和金属沉积过程。这有助于支持各种先进的材料加工应用,从简单的蚀刻平整和包装到金属提升、散装基板去除(BSR)和底切/稀释应用。APPLIED MATERIALS Centura XT ISD设计为灵活高效的工具,维护成本低。它的特点使它能够轻松地处理小型和大批量蚀刻和灰化作业。因此,Centura XT ISD非常适合所有类型的蚀刻和灰化操作,从研发到大批量生产处理。
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