二手 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS 532 #293821494 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS DPS 532蚀刻机/asher设备是半导体工业中使用的一种工具,用于对用于制造薄膜的介电结构进行蚀刻和粉刷。设计用于制造三级电介质、金属闸门、双大马士革铜金属化和高长宽比双大马士革工艺等超薄膜。该系统利用挥发性有机化合物（VOC）反应性离子蚀刻（RIE）、湿蚀刻和超高真空干燥（UHV-Dry）蚀刻等多项技术来执行其独特的工艺。AMAT DPS 532是一个先进的可变通量蚀刻单元，包含先进的等离子体源，可以提供卓越的蚀刻均匀性和蚀刻速率。该机还配备了在线监控工具，允许快速适应和实时控制蚀刻过程。APPLICED MATERIALS DPS 532利用各种蚀刻气体，包括NF3、CF4、O2、SF6、CHF3、C2F6、H2和Ar，以及其他气体来达到最佳蚀刻性能。资产还包括一个先进的远程蚀刻模型，这使得过程控制和快速配方开发和处理。DPS 532采用了高真空和受监控的干蚀刻技术,使其能够实现高分辨率特性、改进临界尺寸（CD）控制、减少微缩以及高纤薄膜长宽比。可将多个模块集成到模块中,从而实现各种工艺功能,如间隙填充、缺陷钝化、关键阵列加工和金属栅极蚀刻。AMAT/APPLIED MATERIALS DPS 532设备设计用于集成到现有的蚀刻和灰化生产线。它结合了通用的可编程逻辑控制器（PLC）和伺服控制,可轻松集成到现有的自动化过程中,并减少将系统实施到生产线时的设置时间。AMAT DPS 532使用无电极安装来安装晶片，因此该单元不需要比其他系统需要额外的手动干预。机器还提供晶片级检测工具，以防止晶片因晶片加载或处理不当而损坏。APPLICED MATERIALS DPS 532 蚀刻器/asher资产是半导体工业中使用的一种先进工具,用于创建具有精确蚀刻控制的薄膜。该模型利用VOC-RIE、湿蚀刻和UHV干蚀刻等多种技术来实现其独特的工艺。它配备了监控设备和可编程逻辑控制器，使其能够集成到现有的蚀刻和灰化生产线中。高真空和监测干燥蚀刻，加上晶片级检测系统，使其能够实现优越的蚀刻均匀性和速率，并通过改进的CD控制降低了微波和高长宽比。