二手 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS 532 #9044038 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS DPS 532是一种蚀刻器/asher设备，使用低压大气等离子体沉积半导体等材料的化学层或蚀刻表面。该系统的生产级设计和最先进的技术使其成为众多应用程序中易于使用、可靠的工具。AMAT DPS 532单元依靠功能丰富、可配置的数字控制器进行蚀刻和沉积配方。内部组分利用等离子体诱导化学气相沉积（PICVD）和低压电容耦合等离子体（LPCP）的组合，对离子和自由基进行初始化处理。高度可定制的配方和测序参数可以很好地控制沉积和蚀刻。使用各种气体，包括O2、Argon、H2、SiH2Cl2、CF4和NF3，以提高蚀刻和沉积速率及工艺。应用材料DPS 532能够在多种材料中产生均匀的蚀刻速率和金属、聚合物和电介质沉积。其大的加工室（直径10.2英寸）确保了宽阔区域的均匀性。此外，该机器还配备了先进的工艺监控能力，包括用于测量蚀刻速率的高速高温计。这些控制和性能测量确保了压板上的均匀结果和均匀性。此外，DPS 532中的LPCP蚀刻工艺与高密度蚀刻特性高度兼容。该工具还利用一套在线数据采集工具和分析，实时监测蚀刻和沉积率，确保零件的一致性和质量控制。AMAT/APPLIED MATERIALS DPS 532的准确性、可重复性和灵活性使其非常适合生产和开发工程需求。资产由480V三相电源供电，工作温度范围为10-40 °C。综上所述，AMAT DPS 532是一种极可靠的蚀刻器/asher模型，结合了先进的PICVD、LPCP和RF护套电离技术，以获得精确可靠的性能。它的大型工作室，加上过程控制和监测能力，使其成为快速、一致地蚀刻和沉积材料的宝贵工具。