二手 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS 532 #9093405 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS DPS 532是为薄膜微电子元件的製造而开发的asher/etcher。这款机型经过专门设计，提供出色的蚀刻特性和速度，非常适合任何微电子应用。AMAT DPS 532是一种独立的蚀刻器/asher设备,具有许多功能,使其功能极其强大和高效。它配备了三托尔压力控制器，可以精确调节从大气到5 mTorr范围的压力范围。安装在主体上的气箱提供了持续供应的优质工艺气体和载气。每个燃气箱都配有标准的燃气管路连接和阀门，减少了设置时间，消除了潜在的误差。此外,机柜内安装的气流控制器可在蚀刻和灰化过程中对气体成分进行无缝、准确的控制,从而独立调整蚀刻和灰化气体流量。APPLICED MATERIALS DPS 532的可调电感耦合等离子体源提供卓越的蚀刻质量。该源在蚀刻过程中提供了与偏置、晶圆温度、气体成分等晶圆匹配参数的最大一致性。该系统还提供了尽可能高的蚀刻速率,从而提高了蚀刻过程的生产率。DPS 532具有先进的安全功能,既安全又方便用户。该型号有一个屏幕上的安全检查表，必须在蚀刻过程开始前完成，提醒用户重要的安全步骤，如准备和蚀刻后清理。该装置还具有极低的臭氧浓度检测，使机器能够安全运行并符合环保局的规定。总体而言,AMAT/APPLICED MATERIALS DPS 532是任何蚀刻应用的理想选择,它将出色的蚀刻质量、速度、安全性和可靠性结合到一个方便的设备中。它是一种经济高效、可靠的工具，非常适合任何微电子应用。