二手 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS AE Poly G3 #9137290 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS DPS AE Poly G3是一种等离子体蚀刻器/asher，设计用于蚀刻和钝化各种材料的基板。该设备能够处理"硬"材料和"软"材料，在每种类型中都能取得优异的效果。该系统由基于电磁的等离子体反应堆组成，其中等离子体是通过对过程施加高频功率而产生的。等离子体可以调谐到不同的密度，允许有机和无机层的最佳去除。它还使用先进的蚀刻技术来尽量减少对基板的影响。AMAT DPS AE Poly G3的设计提高了吞吐量,同时保持了高质量的结果。它与法拉第旋转屏蔽协同工作，能够同时进行蚀刻和等离子体生成。屏蔽层进一步有助于控制蚀刻角和蚀刻速率，从而使基板的加工速度快速、均匀。该单元使用方便，需要极少的维护，使其既适合研究又适合生产。这台机器有一系列的可选配件，可以增加它的功能，如基板均匀扫描仪，反应性离子蚀刻工具，和等离子体调节器。APPLICED MATERIALS DPS AE Poly G3是一种坚固可靠的蚀刻和钝化基板工具。它具有内置电源和过程监控功能,可用于确保一致的蚀刻结果。此工具是各种材料蚀刻的绝佳选择,提供快速、高质量的结果。