二手 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS G5 #293764820 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS DPS G5是一种高度可靠的asher/etcher,设计用于半导体行业中各种设备的高通量处理。该设备设计用于大规模晶圆级清洗、蚀刻、灰分和沉积过程，能够高速将各种功能和技术集成到单个平台中。AMAT DPS G5提供了比以前的系统更高的可靠性和更高的性能。该系统能够提供高达每小时60个晶圆制造操作的惊人吞吐量。该设备的改进使制造多种晶圆设备（如IMD、MEMS和Touch Panel）的效率更高。APPLICED MATERIALS DPS G5利用先进的化学和最先进的技术来实现最大的蚀刻和灰分性能。该机配备了高端5,000W射频发生器，针对所需的化学物质进行了优化，从而确保了高达99.9%的成功率。该工具还能够自动调整射频功率，以适应被处理底物中使用的化学过程的反应时间。此外,DPS G5利用高级PFA （Pressure Flow Analysis）子系统,能够在蚀刻和灰烬过程中自动保持所需的温度、压力和流量。该资产采用多真空/气体歧管设计，能够通过精确控制流速优化过程，从而确保晶圆器件的成功制造过程。AMAT/APPLIED MATERIALS DPS G5还配备了独特的工艺控制模型，能够监测、储存和分析化学和基材特性。这样可以确保在整个制造过程的所有阶段都保持最高级别的过程控制,同时允许用户访问详细的过程报告以改进分析、改进和制造。AMAT DPS G5是半导体行业中可靠高效的晶片级蚀刻和灰分工艺的理想选择。它提供了更高的吞吐量、增强的工艺控制、最先进的技术和先进的化学技术,以确保制造过程中的最大可靠性和效率。