二手 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS II AE G3 #9152529 待售
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ID: 9152529
Poly etcher, 12"
(3) Process chambers & AXIOM
Factory interface:
Front end PC type: 4.0 FEPC
FIC PC Type: CPCI
(3) Load ports
A3 Type: Atmospheric robot KAWASAKI single fixed robot
Side storage: Right and left
Mainframe:
IPUP Type: ALCATEL A100L
Gas panel type: Standard
VHP Robot: Dual blade
MF PC Type: CL7
Chamber:
Chamber A / B / C:
Chamber model: DPS II Poly
Bias gen: AE APEX 1513, 13.56 MHz
Bias match: AE 13.56 MHz, 3kv navigation
Source gen: AE APEX 3013, 13.56 MHz
Source match: AE 13.56 MHz, 6 kv navigation
Turbo pump: STP-A2703CV
Throttle valve: VAT Pendulum valve DN-320
FRC: MKS FRCA-52163310
ESC: Dual zone ceramic ESC
End point type: EyeD IEP
AXIOM Chamber:
RF Source: AE RAPID-OE PLASMA Sourse
VODM: N/A
Throttle valve: MKS 683
2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS DPS II AE G3是一种高性能、多应用、多晶片蚀刻器/asher设备。它被设计为处理范围广泛的材料，包括III-V化合物、绝缘体硅（SOI）、金属氧化物半导体（MOS）、砷化氙（GaAs）、磷化铵（InP）和有机材料。它提供多种蚀刻技术，包括等离子体增强化学气相沉积（PECVD）、反应性离子蚀刻（RIE）和远程等离子体清洗（RPC），用于先进的设备制造。AMAT DPS II AE G3可确保在单个基板上对多层薄层材料和多个设备进行精确、可重复、高通量的蚀刻。它提供了先进的控制系统，用于精确和精确的工艺，以生产用于设备制造的严格控制的高质量结构。该机采用高密度感应耦合等离子体（ICP）源，提供了更好的蚀刻选择性，增加蚀刻速率和提高均匀性。它配备了一个封闭的Ultraflex®装载机机器人,能够转移任何大小、形状或重量的部件。系统数据由流程反馈单元（P-Feffection）收集和监控,该单元提供实时数据记录、流程数值建模和控制。数据和机器性能与AMAT软件平台相结合，提供了一个自动测量、跟踪和报告蚀刻和清洗过程的工具。该软件还包括一个拖放配方编辑器、即时流程可调节性和其他高级功能，以实现用户的可编程性和控制性。APPLIED MATERIALS DPS II AE G3旨在提供卓越的过程控制和可重复性,非常适合生产环境。APPLICED MATERIALS DSPS II AE G3是一款功能强大的蚀刻器/asher,非常适合高性能和高效的设备制造。它提供了一整套高级功能,旨在最大限度地提高吞吐量,减少浪费,同时在蚀刻和清洁过程中保持精度和可重复性。从单晶片蚀刻到多晶片蚀刻,DPS II AE G3是满足各种应用中的高级蚀刻需求的完美解决方桉。
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