二手 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS II AE G3 #9206067 待售
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AMAT/APPLICED MATERIALS DPS II AE G3是一款高效蚀刻器和asher设备,旨在满足目前半导体行业生产线的需求。该系统采用先进的蚀刻和灰化技术,在多种材料中快速准确地蚀刻和灰化薄膜。AMAT DPS II AE G3单元由于具有先进的蚀刻和灰化工艺,具有较高的蚀刻和灰化重复性。它具有高精度的控制机器,能够准确控制高端材料加工的沉积、蚀刻时间和参数。APPLICED MATERIALS DPS II AE G3使用电子束从底物沉积、蚀刻和灰化薄膜。电子束被引导到底物表面以沉积、蚀刻和粉碎膜。由于基板在X、Y和Z方向上连续扫描,因此这是精确和精确的。DPS II AE G3非常灵活且可定制,提供多种其他蚀刻和灰化方法。此工具还具有允许用户根据所处理的材料为每个层选择最佳蚀刻和灰化参数的功能。此资产还提供了保存和召回蚀刻和灰化参数设置以减少晶圆循环时间的能力。此外,AMAT/APPLIED MATERIALS DPS II AE G3还提供了高速端点检测模型,可以从头到尾准确监控整个过程。该设备监控压力、温度和成分,以及其他可能影响沉积和蚀刻过程的参数。它还可以检测进程中可能出现的任何缺陷,并可以相应地向用户发出警报。AMAT DPS II AE G3是一种用于加工各种材料的可靠、高效的蚀刻和洗涤系统。凭借其先进的蚀刻和灰化工艺,该装置提供了高精度、精确度、可重复性以及多种其他处理方法。该机是半导体生产线快速准确蚀刻和粉刷膜以满足特定要求的理想解决方桉。
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