二手 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS II AE G3 #9301026 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS DPS II AE G3 Asher and Etcher是一种先进的半导体加工设备,用于形成电子工业中的关键元件。该设备使用等离子体蚀刻和灰化技术在包括玻璃、硅胶和金属在内的一系列基板上创建超精细图桉和结构。G3型号的加工室最大可达600mm,最多可容纳八个板材。该系统采用集成工具(IT)平台进行工程设计,该平台将单元的各种组件组合为一个设备,并允许操作员通过单一接口控制整个机器。AMAT DPS II AE G3 Asher和Etcher利用多项专利技术实现了有效、均匀的等离子体处理。设备的等离子体浸入离子技术(PIIT)可以降低成本和加快蚀刻速度,而内部自组织来源(ISSO)有助于实现更大的视野和精确的模式。G3型号包括一个创新的电源模块和一个先进的数字控制工具,它提供了对整个过程的精确控制。APPLICED MATERIALS DPS II AE G3 Asher and Etcher是一种可靠高效的资产,旨在承受各种条件。其创新的Shutterless Etcher允许蚀刻气体快速冷却,消除环化物损伤,提高工具稳定性。该型号配备了在线能源监测设备,以帮助随时跟踪和监测过程。这一先进的系统提供了利用各种化学和气体创造各种精细模式和结构的灵活性。DPS II AE G3支持反应性气体,如O2、CF4、CHF3、H2,以及蚀刻气体,如N2、Ar、He、Xe。AMAT/APPLIED MATERIALS DPS II AE G3还具有广泛的工艺参数,包括温度、压力和电压,可以根据任何应用的需要量身定制。AMAT DPS II AE G3 Asher and Etcher是一个功能强大、可靠且用途广泛的单元,旨在满足当今电子行业的需求。通过其先进的控制机器,G3模型可以实现精确的过程控制,确保每个基板上的结果一致。创新的Shutterless Etcher特性结合其广泛的工艺参数,允许快速、均匀的蚀刻和灰化,而不会对基材造成损坏的风险。APPLICED MATERIALS DPS II AE G3是那些希望在最恶劣的环境中创建复杂模式和结构的人的理想工具。
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