二手 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS II AE Mesa #9292403 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS DPS II AE Mesa
ID: 9292403
晶圆大小: 12"
优质的: 2006
Etcher, 12" 2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS DPS II AE Mesa是一种为複杂半导体材料的沉积和蚀刻而设计的蚀刻器/asher。最先进的设备采用脉冲放电硫化物(PDS)工艺技术,以及易于操作的精密控制设备。该系统具有在半导体表面上蚀刻最多九个轨道角的任何图样的能力,可以精确控制蚀刻深度和各向异性程度。除此工艺外,AMAT DPS II AE Mesa为较大的开口提供可调角度蚀刻,可沉积高长宽比、高通量的高达20微米厚度。该装置还具有强大的板载洗涤器,可在整个基板表面提供均匀的蚀刻。这意味着所有设备层都可以在没有污染的情况下以相同的精度进行蚀刻。此外,APPLIED MATERIALS DPS II AE Mesa还具有可变蚀刻和可调节脉冲时间的non-SC1蚀刻模块。此模块允许机器在较高的温度下处理材料,从而提高蚀刻吞吐量。此外,该工具还提供了高精度的线性驱动机构,可串联处理多达96个基板。此功能减少了停机时间,最大程度地减少了操作员疲劳,并允许快速、精确地蚀刻具有挑战性的材料集。此外,该资产为环境保护模型提供了多层过滤设备,以确保安全的工作环境。DPS II AE Mesa是蚀刻半导体器件的绝佳选择,因为该系统可以以高通量和精确度在所有器件层上提供均匀的蚀刻。其PDS工艺技术、可变角度蚀刻、可调节脉冲时间和高精度线性驱动机构使其非常适合行业最苛刻的工作。该设备可帮助制造商优化生产线的效率,同时通过最小化停机时间和操作员疲劳来降低成本。
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