二手 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS II AE #9379752 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS DPS II AE是一种高性能、直流等离子体蚀刻器/asher，设计用于半导体基产品晶圆级制造中的层状材料的精确去除和清洗。AMAT DPS II AE利用其创新的直流电等离子体技术，以极好的均匀性，将层的超快速蚀刻到纳米级。APPLICED MATERIALS DPS II AE拥有功能齐全的用户界面和一系列用于控制蚀刻过程的强大软件功能,包括配方跟踪、自动参数调整、实时过程监控以及对气流和电极电流的控制。DPS II AE能够在200 °C的温度下进行蚀刻,蚀刻速率从200 µm/min到10 nm/min不等。除了先进的蚀刻能力外，AMAT/APPLIED MATERIALS DPS II AE还配备了一个集成的蚀刻后（ASH）室，用于清洗蚀刻层，能够在不引入颗粒污染的情况下快速清除有机残留物。ASH室的设计目的是在晶片表面的任何残留物造成重大损坏之前，将其可靠地刮掉。为了确保持续精确的蚀刻，AMAT DPS II AE配备了几个传感器和控制系统。其中包括内置气流控制器、受控差压室、压力表、温度传感器和射频等离子体发生器。传感器和控制器的这种组合可以精确地控制蚀刻过程，并提供一致的结果，变化最小。在安全性方面，APPLIED MATERIALS DPS II AE经CE认证，符合或超过所有适用的蚀刻/asher安全要求。其内部有效地与外部环境密封，而冗余电源和电源管理功能到位，以提供可靠、安全的操作。总而言之，DPS II AE是一款功能强大且用途广泛的蚀刻器/asher，非常适合用于制造半导体。其直流等离子体技术提供了快速、可重复和精确的蚀刻以及对蚀刻过程的高度控制。它还通过了CE认证,以实现最大的安全性,并配备了安全高效的晶圆级制造所需的所有功能。