二手 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS II AE #9383380 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS DPS II AE（Etch/Asher）是半导体工业中广泛使用的工艺工具。适用于蚀刻、灰化、降解、反应等离子体清洗等应用。它非常适合于从晶圆中蚀刻和粉刷氧化层,以及降解、CMP垫片清洗和接触孔的清洗。它能够处理范围广泛的晶圆尺寸，从纤细晶圆到直径6英寸的晶圆。AMAT DPS II AE（蚀刻/Asher）的主要部件包括硬件--电源、等离子体源、热交换器、气柜和工艺室内存在的管子。电源可配置为AC或DC操作。等离子体源是一个射频发生器，能够运行到40MHz，并通过脉冲功率输出功能得到增强。这种脉冲输出使得射频源在高等离子体密度过程中成功运行。此外,它还有助于最大限度地减少生产环境中的鼓风机噪音。该换热器由铜/镍合金制成，旨在最大程度地提高工艺室内的热效率。气柜装有阀门和过滤器，为加工室提供可靠的气体入口。最后，腔内的管子使用射频匹配的输入，这有助于向晶片输送均匀的气流，也有助于控制等离子体。DPSTM-II AE具有多种功能,使其在蚀刻和灰化过程中可靠、精确。它配备了自动化的过程监控设备，允许操作员根据过程特性设置和优化操作参数。它还有一个腔室冷却系统，有助于最大限度地提高工艺稳定性，确保腔室内的热模式均匀。此外，它的多点温度测量单位有助于精确测量和调节工艺室的温度。APPLICED MATERIALS DPS II AE（蚀刻/Asher）机还提供了一个安全的蚀刻和灰化过程平台。其工艺室是为符合大多数国家环境法规的VOC排气率而设计的。此外，它还配备了先进的安全工具，用于检测资产中的任何故障，并在紧急情况下将其关闭。总而言之，DPS II AE（蚀刻/Asher）是一种高效可靠的工艺工具，由于能够在受控环境中提供均匀的蚀刻和灰化工艺，是制造半导体元件的重要工具。其先进的特性和安全系统使其成为任何半导体制造工艺的理想工具。