二手 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS II #9067210 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS DPS II是一种先进的数字等离子体源（DPS）蚀刻器/灰化器设备,专为先进和精密的蚀刻、灰化和氧化工艺而设计。该系统包含一个气体/等离子体盒（GPB）腔室和一个独立可变动力电极，一个等离子体源最大为600瓦的低热质量射频平台，以及一个具有多种精密过程控制选项的集成控制单元。AMAT DPS II的多用途加工能力使得包括硬质非挥发性材料在内的不同材料能够进行复杂的蚀刻、灰化和氧化。机器独特的设计允许过程参数的独立调整，以达到最精确的结果。这包括能够同时控制压力、气流、气体成分、气体纯度、射频功率、射频频率、板电压和板电流,从而在所有工艺条件下提供最高的蚀刻/灰度。此外，该工具还允许精确调整脉冲离子在腔室中的位置，以确保整个表面均匀去除材料。APPLIED MATERIALS DPS II资产为用户提供了一系列自动化和监控功能,以安全高效的方式实现最佳效果。可选的自动调谐控制器允许基于最佳蚀刻/灰化结果自动优化RF功率和RF频率。集成的计算机管理站界面允许操作员通过过程监控、参数设置和配方测试等应用，实时监控和操纵模型组件。DPS II还提供了在单个运行中执行复杂的多步骤过程的功能,从而实现了高精度蚀刻和灰化过程。AMAT/APPLIED MATERIALS DPS II旨在满足从设备研究到半导体制造等广泛用户的需求,并适应未来工艺条件的变化。AMAT DPS II实现了高度可靠和可重复的蚀刻、灰化和氧化过程,使其成为可靠性和准确性最高的薄膜沉积或蚀刻和灰化应用的理想选择。