二手 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS II #9078107 待售

ID: 9078107
POLY chamber's, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS DPS II是一种先进的蚀刻/灰烬设备,设计用于执行高度精确和复杂的蚀刻和灰烬操作。该系统能够处理各种蚀刻材料,包括薄膜、晶圆和其他基材。它可用于多种应用,如半导体器件上的蚀刻图样层、微流体研究和MEMS器件。该单元配有一个多过程腔室、几个源模块和几个原位传感器进程。多工艺室允许定制工艺,并允许用户解决各种蚀刻和金属沉积需求。来源模组包括磷化铵湿蚀刻卡盘、电子束源、感应耦合等离子体源。所有这些来源都能够产生高度均匀的薄膜和光致抗蚀剂。原位传感器过程提供过程参数反馈,以确保高质量的过程结果。该机的功能还允许进行全面的蚀刻操作。它具有精确、可重复的磁场辅助蚀刻工艺,以及先进的薄膜厚度分析功能。此外,该工具直观的用户界面允许用户实时监控和控制操作参数和流程。此外,AMAT DPS II蚀刻/灰分资产还具有多种安全功能,如防弧和可编程的危险材料锁定门。所有这些元素使它成为一个可靠和安全的蚀刻/灰烬模型,设计用于广泛的应用。总体而言,APPLIED MATERIALS DPS II是一种功能强大且可靠的蚀刻/灰烬设备,适用于各种应用。它配备了几种工具和特点,使精密蚀刻和灰化操作容易可靠。它有一个多工艺室和几个源模块,允许用户解决他们的蚀刻和金属沉积需求。此外,它还具有一套全面的安全特性,使其适合任何洁净间环境。
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