二手 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS II #9103057 待售
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ID: 9103057
晶圆大小: 12"
优质的: 2008
Metal etcher, 12"
(3) Chambers
(2) Axiom chambers
2008 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS DPS II Asher是一款先进的等离子体蚀刻和清洁设备，设计用于研发和生产应用。它结合了高性能干蚀能力、出色的颗粒去除、低温清洗、快速坡降时间。该系统为蚀刻工艺优化提供了卓越的精度和可重复性。AMAT DPS II Asher的特点是带有加热元件的真空室，用于温暖、低压清洗或蚀刻和蚀刻过程。它还包括一个旋转表，允许产品被放置在转移阶段进行蚀刻。高级流程控制器监视流程参数,而LCD用户界面可帮助操作员通过该过程进行操作。等离子体蚀刻过程由高频发电机驱动，该发电机使用射频等离子体源来创建和控制等离子体场。然后使用集成发射单元控制来自蚀刻室的等离子体，并提供和维持腔室条件。该腔室还具有高分辨率数字万用表和数字推进器，以确保精确的蚀刻过程控制。该工艺控制器配备了实时反馈数据，以确保精确、精确的蚀刻。它可以链接到外部PC以远程控制进程。该机还具有锁定蚀刻工艺温度的闭环温度控制工具和高性能温度控制资产，以确保灰烬的温度始终保持不变。另外，蚀刻过程可以用各种诊断方法进行监测，如光发射光谱、质谱和其他工艺参数。该模型能够清洁蚀刻表面的颗粒，减少颗粒污染。它还可以方便地进入真空室进行快速维护和维修。APPLICED MATERIALS DPS II Asher的主要优点包括蚀刻、清洁和其他应用的高重复性、价值和性能。它提供了卓越的精度和可重复性，最小化的颗粒污染，快速的斜坡下降时间，以及出色的清洁蚀刻表面。设备也使用方便、效率高、性价比高。
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