二手 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS II #9192386 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS DPS II是由AMAT, Inc.设计和建造的蚀刻器/asher。通用设备能够在许多半导体工艺中蚀刻和/或粉刷各种晶圆和陶瓷材料。AMAT DPS II先进的Multi-Zone TM技术和Fusion™气体输送系统允许对产品和应用程序的特定要求进行预调整和过程控制。此功能优化了闸门到闸门水平的蚀刻和灰化的性能和控制。APPLICED MATERIALS DPS II的蚀刻和灰化过程是基于受控的氧气或氮气等离子体化学。这些过程可以根据压力、电流和等离子体量身定制和调整。使用DPS II,可以调整该工艺,使其在蚀刻和灰化的最佳范围内运行。此外，腔室和电极布置被设计成产生一个极好的流动分布导致均匀蚀刻深度跨越晶圆。AMAT/APPLIED MATERIALS DPS II的另一个重要特点是其高效气体输送装置。采用新型双级过滤机设计，保证了高气体纯度。这样可以在不增加工艺时间的情况下升级任何工艺的清洁质量。它还可以通过降低电极污垢和改善电隔离来提高工艺温度。这反过来又使晶片具有更高的均匀性。AMAT DPS II还包括一个自动反应堆TM功能,以减少排便和返工.它通过自动调整到正确的蚀刻参数集来改进工艺的调整，并消除了手动调整腔室条件的需要。此功能能够快速高效地切换到不同的工艺条件。APPLIED MATERIALS DPS II还包括一个全面的用户界面工具,允许用户实时监视、跟踪和控制蚀刻和/或灰化过程。它还提供了许多自动过程控制功能,以提高准确性和可重复性。总体而言,DPS II是一种蚀刻器/灰化器,旨在提供出色的重复性、精确度和对蚀刻和灰化过程的控制。它包括Multi-Zone TM技术和Fusion™ Gas Delivery Asset,以根据应用程序的特定要求对流程进行预置。它还提供了高效的气体输送模型、自动反应堆TM功能和一个全面的用户界面设备，用于实时的过程监测和控制。