二手 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS II #9204534 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS DPS II Etcher/Asher是一种可靠、高性能的等离子体蚀刻设备,设计用于对厚薄膜材料进行精确蚀刻。它提供高吞吐量,能够对各种材料进行专用蚀刻和灰化。AMAT DPS II Etcher/Asher具有多室架构，提供快速的循环时间，并能够在较短的时间内处理多个晶圆。晶圆载波设计用于在不同腔室之间快速切换，从而实现高效的吞吐量。所有独立的腔室都由独立的射频发生器提供动力，允许每个循环的最佳工艺条件。可以对蚀刻工艺进行微调，以提供每个周期的最佳结果和最大产量。该系统提供精确的位置控制，并允许可变压力控制能力。包括等离子体优化单元，以保持等离子体质量并提供最高蚀刻速率。此外,一整套自动化的过程配方、诊断和过程管理功能使APPLIED MATERIALS DPS II Etcher/Asher易于使用。DPS II Etcher/Asher是一款极其可靠的机器，适用于生产高精度蚀刻和灰化工艺。该工具专为流程可重复性而设计，并配有各种传感器和诊断工具，以确保每个周期的结果一致。该资产还可以通过可选的重新启动功能最大程度地减少停机时间。AMAT/APPLICED MATERIALS DPS II Etcher/Asher是为生产过程需要可靠、可重复的蚀刻/灰化模型的用户提供的完美解决方桉。它提供精确的蚀刻结果,并提供最高级别的过程控制和吞吐量。该设备易于使用，为可重复性而设计，并为更高的产量提供了增强的等离子体质量。