二手 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS II #9205693 待售
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AMAT/APPLICED MATERIALS DPS II是一种先进的asher/etcher系统,专为集成电路的制造而设计。这台机器用于通过化学或等离子体活化反应蚀刻和清洁晶片。它具有几个明显的优点,包括先进的设计和高吞吐量,以及与一系列基材和材料的完全兼容性。AMAT DPS II配备了高效、坚固的结构,允许高输出波段。机器由一个主真空室组成,配备了多个独立操作的磁头,每个磁头在过程中都能承载一个晶圆。它包括一个单一的直列式或双环式工艺室,能够清洗晶圆,以及一个用于晶圆精确定位的集成晶圆轨道。APPLIED MATERIALS DPS II还具有先进、用户友好的图形用户界面,允许轻松直观的操作。该系统能够以手动或自动模式运行,从而可以灵活地控制蚀刻和灰化过程。其用户友好的操作员界面还允许快速诊断以及生成和编辑过程配方。DPS II的一个重要优势是其广泛的工艺能力,允许从各种基材和材料中获得高质量的工艺结果。这是由于它的综合工艺库,其中包括蚀刻,灰化和晶圆清洗。这样可以确保对每个晶片进行处理以获得最佳结果。该系统还提供精确的温度控制、快速稳定和晶圆冷却等独特功能。此外,AMAT/APPLICED MATERIALS DPS II具有多个气体阀,允许大量的蚀刻和清洁气体用于单面和双面蚀刻。AMAT DPS II是一款先进、高效的蚀刻器和asher,专为最苛刻的晶圆处理操作而设计。它提供了满足所有流程需求的多功能性和灵活性,并具有简单的用户友好图形用户界面。
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