二手 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS II #9253348 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS DPS II是一种高级蚀刻器/asher,用于在各种材料表面上创建复杂的图桉和形状。它是一种化学干蚀刻工艺，在包括硬质金属、硅片和薄膜材料在内的各种表面上工作。AMAT DPS II在蚀刻器世界中是独一无二的，因为它是一种双光束干蚀刻器。这意味着它可以同时使用光束和重光束进行蚀刻，与使用单个光束蚀刻器相比，允许更精确的阵列。使用这两个光束，可以创建具有非常精细特征的图桉，并且可以蚀刻到大约1 µm的深度。另外,两个独立的梁允许使用两组单独的参数。第一组参数可用于定义蚀刻的宽度和深度，第二组参数可用于选择所需的蚀刻速率和蚀刻选择性。APPLICED MATERIALS DPS II能够进行多种蚀刻过程，包括各向同性蚀刻、各向异性蚀刻和发展性蚀刻。各向同性蚀刻是各方向蚀刻速率相等的过程。各向异性蚀刻是创建一个模式的过程，在该模式中蚀刻速率在每个方向上变化，从而产生一个角度的模式。发育蚀刻是指蚀刻速率可在一个方向上进行调整，从而形成一种降压模式。DPS II的其他特性包括广泛的气体可供选择，包括氟气、氮气、氯气和氙气，以及一个内置的微处理器，一步一步地精确控制所有蚀刻，并以单旋钮、用户友好的界面操作。系统还配备了一个高分辨率摄像头,可以在蚀刻过程中快速进行调整。此外,它还具有多种安全功能,包括紧急耗尽系统和防止过热的温度监测。AMAT/APPLIED MATERIALS DPS II是一款高级蚀刻器/asher,提供无与伦比的精度和灵活性。它的双光束设计、高分辨率相机和各种气体使其成为在各种表面材料上以惊人的精度和速度创建复杂图桉和形状的强大工具。它内置的安全功能提供了额外的安全性,使其成为寻求精确蚀刻和灰化结果的用户的首选。