二手 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS II #9379759 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS DPS II是一种先进的、最先进的蚀刻器/asher工具。该设备采用先进的等离子体技术，设计用于从金属到半导体的各种材料的高精度蚀刻和灰化。AMAT DPS II除了对各种材料进行高效的蚀刻/灰化外,还提供了卓越的工艺控制和精确的参数调整,以实现最佳蚀刻或灰分。这使用户能够获得较高的过程重复性,实现高长宽比结构,同时保持优于预期的表面质量。APPLICED MATERIALS DPS II设计具有高输出功率、出色的长期过程稳定性以及较高的晶圆吞吐量,使用户能够获得最高的晶圆表面产量。其易用性和用户友好的设计可帮助运营商最大限度地提高生产效率。DPS II包含一个高压、低压、通风压力室。高压室设计用于高速度蚀刻和可靠的再现蚀刻，低溅射后散射到晶片边缘。低压室用作蚀刻前的预清洁室，并作为具有两个区域工艺的灰化器，以实现更高的均匀性。AMAT/APPLIED MATERIALS DPS II还有一个内置的温度控制系统，有助于稳定工艺温度，从而提高蚀刻/灰度重复和均匀性。此外，该机组还有一个静态中和器，以防止在蚀刻或灰化时在晶圆表面堆积正离子，以及接地壁以进一步降低电位充电。AMAT DPS II已被证明是制造高性能电路的可靠工具，也可用于先进的MEMS（微机电机械）应用。其强大的设计和用户友好的界面使用户能够在最小的操作员干预下实现卓越的蚀刻和灰化性能。该工具可靠、可重复且用户友好。它即使在具有挑战性的材料上也能提供高精度的蚀刻和灰化效果，使其成为设备制造的理想工具。