二手 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS Poly #9303002 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS DPS Poly是一种主要用于半导体制造行业的蚀刻器/asher。它由一个加热的聚乙烯输送罐组成，在化学气相沉积（CVD）腔内输送晶片。这个腔室配有预热器、射频发生器、基板、火柴线圈以及其他组件。AMAT DPS Poly在一个腔室内有多个过程，使其能够提供卓越的蚀刻和沉积过程结果。该设备采用双头、反应性离子蚀刻（RIE）技术，以及化学-机械抛光（CMP）工艺，用于增强半导体表面。系统内两个独立的磁头设计允许同时蚀刻金属和介电层。该单元还包括一个可编程控制器，允许用户编程各种蚀刻轮廓步骤，以及腔室的温度和压力。这样可以通过设置温度、压力和射频功率水平来精确控制蚀刻和沉积过程。射频发生器在等离子体蚀刻过程中产生稳态和脉冲射频。可由程序控制器调节的匹配线圈用于控制等离子体蚀刻操作中路由阻抗变异性的路由。为提高APPLICED MATERIALS DPS Poly的吞吐量，AMAT实施了"基板级联装载机"。这允许两个基板同时进行任何给定的过程。已知这种方法可大大缩短整体处理时间。APPLIED MATERIALS为DPS Poly开发的软件也很容易使用。它具有直观的图形用户界面，可用于快速输入每个蚀刻或沉积过程的配方。该软件还提供对腔室温度、压力和射频功率水平的实时监控。最后，AMAT/APPLICED MATERIALS DPS Poly 蚀刻器/asher的特点使它成为寻找一种既能处理沉积过程又能处理蚀刻过程的多功能机器的人的绝佳选择。它提供强大的功能，如基板级联装载机，双头RIE，和可编程控制器，以及易于使用的软件。这些特性使得AMAT DPS Poly成为半导体工业中应用最广泛的机器之一。