二手 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS #293747936 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS DPS是一种用于加工晶片的抗蚀剂asher/etcher。它利用两个气源从晶圆表面蚀刻残留物料层。第一种气体是一种氧基气体，通过分解材料的碳键，使下面的硅膜暴露，促进抗蚀剂的去除。第二种气体是卤素基气体，充当蚀刻剂，蚀刻掉暴露的薄膜。卤素基气体与硅膜反应，形成卤化物离子，然后与氧基气体反应形成挥发性化合物，然后通过废气排出。AMAT DPS被广泛应用于先进半导体器件的制造中。它是各种研究和生产过程中的重要工具，如光致抗蚀剂剥离、化学机械平面化（CMP）、原子层沉积（ALD）。它也用于制造存储芯片、逻辑门、晶体管、光伏电池等设备。APPLIED MATERIALS DPS由两个截然不同的部分组成。第一个是腔室，它与设备的其余部分隔离，并在那里进行处理。该腔室是将气体和其他化学物质引入基材的地方。第二部分是送货系统，通常由喷嘴和加热器组成。注入喷嘴用来将气体精确引导到晶片上，加热器用来加热晶片，使化学物质蚀刻到所需的区域。DPS还配备了反馈控制单元，以确保与每个流程的一致性和准确性。这有助于确保所需的图样被蚀刻，残留物被精确去除。机器还具有故障检测和报警报告功能，在蚀刻过程中提醒用户任何差异。总体而言，AMAT/APPLIED MATERIALS DPS是生产先进微电子器件的强大可靠工具。该机具有精密的控制机和精密的蚀刻技术，对未来设备和产品的开发和制造至关重要。