二手 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS #293747937 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS DPS是为批量和单片加工而设计的蚀刻器/asher。该设备在蚀刻和灰化过程中具有卓越的精度、重复性和精确度。它具有强大的狭缝阀设计，可最大程度地减少与晶圆的接触，并实现精确的体积配方执行。该系统由一个1050mm x 530mm的加工室组成，适用于各种基材和大尺寸晶圆的大规模生产。利用其EasyLift™晶片传输单元，用户可以轻松地将晶片往返于AMAT DPS。其全自动配方驱动的设计有助于使操作变得极为简单。该机器允许用户为不同的蚀刻/灰化过程创建可重复的配方，如各向异性、各向同性和下游蚀刻。它能够平稳控制温度和气流,并在蚀刻和灰化过程之间自动切换。这样可以在用户输入最少的情况下对基板进行可靠的蚀刻和灰化。该腔室采用低压设计，保证了均匀控制的气氛，进一步优化了吞吐量。APPLIED MATERIALS DPS还支持各种各样的工艺化学和气体，如CF4、SF6、O2、N2、Ar和CHF3。除了提供可靠的蚀刻和灰度处理外,DPS还具有最大的工艺灵活性。它允许用户对自己的配方进行编程,并优化其应用程序的工具设置。利用这种灵活性,用户可以非常精确地执行敏感的深各向异性蚀刻.为了确保可重复的蚀刻和灰化过程，资产有一个气体管理模型，监测气体纯度和组成，可以监测和储存。设备还有内置的保障措施，随时确保安全。AMAT/APPLIED MATERIALS DPS的设计侧重于操作的简便性和效率。它具有卓越的精度、重复性和可靠性,非常适合晶圆蚀刻和灰化。该系统是业界专业人员和学生的绝佳选择,他们都在寻找一个易于使用、可靠且高效的蚀刻和灰化单元。