二手 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS #293747938 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS DPS是一种平行版蚀刻/灰烬,设计用于沉积、蚀刻、剥离和/或退火各种材料。蚀刻程序/分类器使用配方进行编程,以实现批处理到批处理蚀刻过程运行的可重现结果。AMAT DPS系统提供先进的流程技术,包括自动化流程控制、配方自动化、诊断、最先进的流程硬件以及易于使用的操作员友好界面。APPLIED MATERIALS DPS设备提供了广泛的配置选项和功能,例如可选的高频偏置、自动样品加载、大气等离子体清洗和排气过滤器。DPS系统专为一致性、可重复性和高生产吞吐量而设计。具有快速循环时间,AMAT/APPLIED MATERIALS DPS可确保精确的可重复过程控制,以及从批到批的可重复结果。数字化过程控制系统进一步确保了对蚀刻过程条件的精确控制，从而产生均匀的蚀刻或沉积结果。AMAT DPS系统具有优越的晶圆处理技术,用于样品的放置和移动.高精度晶片对准技术利用自动的上下晶片支架进行精确的样品放置和移动，晶片弯曲可忽略不计。样品处理单元还具有精确的晶圆旋转和升空控制功能。APPLIED MATERIALS DPS系统还具有集成的设备控制、配方脚本和性能监控功能。更先进的DPS系统具有基于摄像头的自动样品位置确定和自动蚀刻后清洗功能,以进一步确保可重现的蚀刻结果。集成诊断机器可以立即识别任何潜在的过程问题。AMAT/APPLICED MATERIALS DPS系统还具有清洁度和安全特性,包括捕获HEPA过滤的废气工具和自动气体废水管理资产。AMAT DPS系统还具有可选的过程中OES监控模型,用于实时监控蚀刻过程结果。APPLICED MATERIALS DPS系统从成本效益到精密的模型，都能够蚀刻各种材料，包括硅、石英、二氧化硅、多晶硅、砷化的、铝等。