二手 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS #293747939 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS DPS（干式等离子体带）是一种用于蚀刻和灰化的设备。这台机器使用等离子体和干氧的组合来抛光和图案表面的基材像晶片，面膜，或面膜上的晶片。它是一种专门用于从晶圆表面去除有机、无机和聚合物材料薄层的蚀刻器。干式等离子体剥离过程以活性气或正气体作为能量来源开始，通常是氧气。气体随后被对称脉冲到非常高的频率，产生等离子体。等离子体再注入一个真空室中，晶圆和基板表面在等离子体中暴露一定的时间。这导致沉积的分子或表面有机物从表面剥离。留下的颗粒随后在机器的排气系统中被带走。在AMAT DPS中,蚀刻和灰化都是在一个过程中完成的。灰化过程通常在蚀刻过程完成后完成,因为它清除了蚀刻后留下的残留物和碎屑。这个过程使基板表面的顶层保持清洁光滑，同时也改善了基板的附着力、表面形态和电性能。此外,APPLICED MATERIALS DPS 蚀刻器/asher已被设计为以高效率运行。蚀刻和灰化过程可以快速完成，结果一致且可重复。通过提供统一一致的蚀刻和灰化过程,DPS确保了对所有晶圆和基板表面的最高质量控制级别。简而言之，AMAT/APPLIED MATERIALS DPS干式等离子体带是晶圆和基板表面蚀刻和灰化的理想设备。它使用等离子体和干氧的组合，从表面剥去有机、无机和聚合物材料的薄层。此外，快速的过程和统一的结果保证了高水平的质量控制和统一。