二手 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS #293749794 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS DPS（D lithic P hotosensitized S emiconductor）蚀刻器/asher是一种用于半导体工业中先进的后光刻制造工艺的高性能工具。它旨在提供卓越的性能,同时保持较小的占地面积和成本效益。AMAT DPS蚀刻/灰分工艺以光热化学工艺为基础，利用强烈的紫外线辐射和高分辨率气体溷合物蚀刻光刻工艺所需的光敏层。APPLICED MATERIALS DPS工具的腔室相对较小,工作周期较短。它利用强烈的紫外线光源与注入室内的气体产生光化学反应。然后，光致抗蚀剂层被分解，使基板的蚀刻/灰化以选择性的方式。DPS蚀刻器在蚀刻/研磨过程中具有高分辨率、快速蚀刻/研磨速率和较低的基材温度。它可以提供1微米的线宽，蚀刻/灰化率高达1.45微米/分钟。它在较低的加工温度（<80 °C）下运行,这将基板上因基板温度升高而可能发生的热损坏降至最低。AMAT/APPLIED MATERIALS DPS蚀刻器独特的腔室设计，消除了对非凡功率输入的需求，提供了高蚀刻均匀性。脉冲气体输送功能为蚀刻/灰化工艺提供了额外的好处。通过精确调整气体注入时间和离子通量，可以更好地控制蚀刻/灰化过程。调整气体注入时间，以减少气体回扩散到晶圆表面，从而减少带电粒子对表面的伤害。此功能还可实现工艺优化和改进蚀刻工艺。AMAT DPS蚀刻器是一种有价值的工具，用于在蚀刻/灰化过程中要求高分辨率和低基质温度的半导体工艺。对于较高的吞吐量,可以修改APPLIED MATERIALS DPS以增加吞吐量,而不会降低性能。DPS蚀刻器是一种经济实惠的先进后光刻工艺解决方桉。