二手 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS #9204820 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS DPS（Deep Silicon Etcher/Asher）是用于制造高性能器件的半导体制造过程的关键工具。它是一种高通量、多室处理设备，能够可靠地提供必要的开发和制造技术，将精确的图样切割成硅片。AMAT DPS系统由两个由墙壁隔开的主腔室、负载锁和排气室组成。第一个腔室容纳加工模块，并包含两个蚀刻板，放置晶片进行加工。这个腔室充满了一种气体，这种气体通常是含氯和含氟化合物的溷合物。第二个腔室包含一个活塞和一个线性运动级，为蚀刻和灰化提供必要的作用力。负载锁用于在两个腔室之间移动晶片，而不允许环境与腔室内部的气体溷合。APPLIED MATERIALS DPS平台具有蚀刻和灰化两个主要过程。蚀刻用于在具有角度轮廓的硅片中创建浅口袋,而灰化则用于去除蚀刻过程中剩余的任何材料。DPS工具提供高精度的蚀刻和ashing功能,具有可重复的过程和跨晶圆的精确均匀性。为了实现这一目标，该装置利用高度专业化的光学器件和光束转向机构，以确保每个晶片都能施加适当的时间、能量和深度。AMAT/APPLIED MATERIALS DPS机的应用多种多样，涵盖了广泛的部门。用于高速/高产半导体生产、显示器件制造、薄膜器件制造等多种技术。该工具也被用于先进的光掩模生产和MEMS（微机电系统）制造。此外，它用于制造电子互连、高密度存储器和IC封装的元件。AMAT DPS平台具有先进的功能集、精确度和灵活性，是半导体制造和器件制造持续发展的重要组成部分。该资产旨在满足严格的行业标准并提供可靠的操作,从而提高收益率和性能。