二手 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS #9209124 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS DPS 蚀刻器/asher是一种真空压力蚀刻器/asher，用于创建专用元件和半导体器件。它是一种可靠、可靠、可重复的蚀刻和灰化工艺，满足所有严格的行业应用要求。AMAT DPS具有单一的机柜设计,其中包含等离子体源、试剂系列、腔室组件、工艺气体和控制电子/GUI软件。APPLICED MATERIALS DPS可以在包括金属、氧化物、氮化物和低k介电膜在内的多种工业半导体材料中产生高质量、可重复的蚀刻和灰分。机器带有一个大腔室，可以在晶片的所有区域进行更均匀的蚀刻和灰化，而不会产生任何"边缘效应"，这可能导致潜在的芯片故障或屈服损失。带有DPS的自动循环控制可维护必要的流程参数,以实现一致的批对批均匀性,而内置诊断程序可实时监控系统性能和报告结果。DP Etcher/Asher允许用户自动调整腔室的压力和温度，每次都允许更精确的蚀刻/灰烬。此外，可用的加工窗口种类繁多，适合蚀刻各种材料和基材。蚀刻器/asher带有渐进式源控制功能。这允许用户根据正在处理的应用程序有选择地溷合等离子体源、试剂和气体的功率。这样可确保精确高效的蚀刻/灰化。该装置还带有一个直接供气分配系统，该系统将过程气体精确地以正确的溷合和数量输送到等离子体室中。这是配合级联气体成分控制微调过程控制。该机也非常用户友好可靠，由于直观的HMI（Human-Machine Interface）包含了自动化功能和图形化的用户界面数据库以方便流程设置和调整。此外,AMAT/APPLIED MATERIALS DPS还包括内置的安全功能,以保护组件免受损坏和意外蚀刻/灰烬结果的影响。这包括互锁、压力传感器、出口气流探测器和关断安全传感器。最后,AMAT DPS Etcher/Asher是一种高效、可靠且经济高效的蚀刻/灰化系统,用于创建高质量、精密的元件和半导体器件。其强大的功能、可靠的控制和独特的用户界面,可实现卓越的可重复性和高吞吐量。各种安全功能确保组件在过程中不会损坏。