二手 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS #9270844 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS DPS（深硅蚀刻）Asher是半导体工业常用的专用蚀刻设备。它旨在为基于深硅的蚀刻应用提供高度精确的蚀刻工艺。该系统利用高频射频驱动的电感耦合等离子体源实现硅材料的深度蚀刻。通常,AMAT DPS系统由腔室、控制器和相关硬件组成。腔室是一个全金属的圆筒真空腔室，能够达到高压和温度。此外,它还设计用于容纳硅片,并为ICP源提供空间。控制器提供过程控制，监控蚀刻过程的不同方面，如真空水平、气体压力、温度和射频功率输出。这些都连接在一起，形成蚀刻机的骨干。蚀刻过程从晶片装入腔室开始。接下来，气体溷合物被引入腔室，以及高频射频信号。这个射频信号负责加热ICP源，然后形成等离子体，在腔室中产生反应性环境。射频信号有助于引起硅片的离子轰击，断裂材料的键并导致蚀刻。此外，该装置的设计确保了有效的气体利用。它还允许对蚀刻工艺进行现场监控以及快速调整工艺参数的能力。控制器还具有其他一些功能，如蚀刻前和蚀刻后清洗、晶圆温度和方向控制、蚀刻后计量、晶圆裁剪、配方生成等关键工艺。总体而言,APPLIED MATERIALS DPS系统以可接受的速率提供高度均匀、精确的蚀刻,同时避免成核、火花或深度蚀刻应用中常见的其他问题。该机为半导体工业的硅材料精密蚀刻提供了高效可靠的解决方桉。