二手 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS #9271246 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS DPS(沉积和蚀刻/Asher)设备是半导体工业中用于高产量、高产量生产的最可靠、用途最广泛的蚀刻和灰化系统之一。该系统可用于蚀刻多种不同的材料,如多晶硅、二氧化硅和金属。它也可以用于灰化过程,这是从晶圆中去除不需要的材料的过程。AMAT DPS装置的高质量、高产量生产是由于其双蚀刻/灰分加工室等大特点,使得两个晶片可以同时处理。机器还使用先进的单晶片温度控制器,确保晶片在蚀刻和灰化过程中保持均匀。此外,APPLIED MATERIALS DPS工具配备了可用于蚀刻和灰化的最先进、功能最强大的工具。该资产可以支持广泛的蚀刻化学方法,并使用先进的算法来优化每种材料的蚀刻和灰化过程。这确保了蚀刻和灰化过程后无缺陷、高质量的基材。DPS模型也可用于其他应用,如化学气相沉积(CVD)。CVD用于用多晶硅等金属等材料涂覆基板,AMAT/APPLIED MATERIALS DPS设备可以将这些材料沉积成可达到的最高收率。AMAT DPS系统允许进行高度控制和可重复的蚀刻和灰化过程。该单元使用气体分配机向所有基板表面提供过程气体的均匀分布。此外,该工具设计有闭环流量控制器,以确保整个过程中气体的一致流动。这保证了蚀刻和灰化过程的压力和流速始终得到控制,以达到每种材料的最佳效果。总体而言,APPLIED MATERIALS DPS资产是一种高度可靠且用途广泛的蚀刻和灰化工具,适用于广泛的行业。它为用户提供了以最大的产量、准确性和可重复性蚀刻和粉刷种类繁多的材料的能力。
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