二手 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS #9396746 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS DPS是为微电子生产而设计的自动化干式蚀刻器/灰化器。它能够使用基于等离子体的物理气相沉积（PVD）技术清洗、平面化和蚀刻小型复杂组件。AMAT DPS蚀刻器基于旋转磁控管溅射源,其设计目的是利用极精确的光束在超短时间内蚀刻微小的特征。它使用了一种获得专利的离子束技术，这种技术产生一种聚焦和受控的等离子体流动，以针对微小的特征或其他感兴趣的领域。APPLICED MATERIALS DPS蚀刻器使用无源磁锥，有助于精确监视其位置并传递均匀的离子束进行溅射。它还使用自动化的等离子体压力设备来监测等离子体气体、真空水平和等离子体流动的电离。自动化控制系统能够控制压力、沉积速率和等离子体发射器参数，以实现高度可重复、均匀的结果，同时尽量减少人工干预。此外，蚀刻器还配备了高精度分段温度传感器，使组件在其三维环境中可重复对准。该装置还具有多气态能力，具有用于气态前体和后等离子体的腔室，这对于多层沉积至关重要。此外,它还具有内置的散热机床,可从目标部件散热,从而使能量分布更加均匀,从而防止快速热变化所产生的任何热冲击。DPS蚀刻器被设计为与大多数沉积材料兼容，从石墨烯到铝。它的热稳定性保证了它可以处理极端温度，使其适合兴奋剂和金属沉积等先进工艺。此外，它还有一个严密的安全机制，包括在不安全的情况下自动关闭。它还具有自动污染控制工具，以避免基板之间的交叉污染。最后，AMAT/APPLIED MATERIALS DPS为微电子生产提供了一种功能强大、用途广泛的干蚀刻和灰化工具。它具有自动化的控制资产,可实现准确、可重复和均匀的材料沉积,是一种更经济的自动化蚀刻器,可为大批量生产提供可靠、经济高效的解决方桉。