二手 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS #9401495 待售

AMAT AMAT/APPLIED MATERIALS DPS（干加工设备）是一种先进的蚀刻和灰化技术，用于半导体等行业的高精度蚀刻和灰化。它旨在支持多种材料和工艺，如干蚀刻、洗涤夹层、清洁、表面和整体处理以及修复。该系统主要由工艺模块、辅助模块、基座和化学分配单元四部分组成。工艺模块是蚀刻和灰化的主要贡献者。它包括一个装有离子植入器的水平真空室和一个节气门，气体通过该阀供应到该室。向离子植入器提供高频射频功率，导致腔内电场强烈。这在室内产生了一个等离子体，使离子能够加速到所需的能级，然后可以用来剥离材料。辅助模块包含形成等离子体磁场的电磁线圈，以及一大堆温度、压力和其他传感器，以监测和控制过程。它也作为加热气体的来源，提供更平滑的蚀刻图样。此外，它还可以包括一个批量的石英晶体监测器，用于监测蚀刻和灰化的进展。基座（Pedestal）是安装在真空室顶部的一个腔室，为过程中的晶片提供底座。它也被用于标本检视，并能够配备负载锁技术，让晶片能够快速方便地装卸。化学分配机是AMAT DPS的最后一个元件，由一系列计算机控制的泵和阀门组成，用于在蚀刻和灰化过程中向腔室供应所需的化学品。这确保了一个稳定和一致的过程,并为用户提供了对过程参数进行微调的机会。APPLICED MATERIALS DPS是一种功能强大、高效且用途广泛的工具,用于各种测量基板的蚀刻和灰化。它的组件设计精确度和可靠性，为用户的过程提供了最高的精确度。由于其精密的控制系统和适应性,DPS可以在短短几分钟内提供精密蚀刻零件,因此非常适合各种应用,包括半导体制造、材料研究和元件生产。