二手 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS2 #9298479 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS DPS2是一种蚀刻器/asher,提供高质量的介电和金属蚀刻应用。AMAT DPS2能够在生产环境中对多种材料进行高效、可重复和经济高效的等离子体蚀刻。这款asher特别设计了一系列等离子体蚀刻参数，即使在大型晶片和面板上也能产生出色的蚀刻均匀性。应用材料DPS2是一种高度通用的蚀刻器。它与所有类型的插槽模具和磁带安装的蚀刻工具完全兼容。它允许广泛的蚀刻配方，可以用来蚀刻金属和介电层。DPS2与先进的控制系统一起运行,该系统可实现精确且可重复的蚀刻,且各批之间的工艺变化最小。AMAT/APPLIED MATERIALS DPS2配备了获得专利的边缘跟踪系统,可确保整个晶圆边缘和表面的线性蚀刻速率。该系统能够实现均匀的蚀刻剖面,以实现微孔的均匀致密化,对特征进行更好的尺寸控制,并提高产量。AMAT DPS2是一款紧凑但功能强大的蚀刻器。其紧凑的设计适合标准生产外壳内部，其防护涂层对反应性气体具有抵抗力。APPLIED MATERIALS DPS2带有机载安全功能,如热锁定、排气分流和工艺监控端口。该蚀刻器还采用了Peltier冷却器设计,提供了高效的冷却过程,可确保操作过程中大气稳定并防止污染。DPS2是一个低维护的asher。它需要最少的操作员干预，工作寿命长。高流程可靠性是通过几个软件和硬件组件实现的，包括一个单独的控制器单元、一个流程控制板和软件程序。定期监测和更新所有这些组件，以确保可靠的蚀刻工艺。AMAT/APPLIED MATERIALS DPS2是一款经济高效、高性能的蚀刻器。它提供了金属和介电层的高质量蚀刻，具有高度的精确度和可重复性。AMAT DPS2是任何需要高效、准确蚀刻解决方桉的生产环境的理想解决方桉。