二手 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS2AE #293603812 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS DPS2AE Etch/Asher设备是一种先进的等离子体干蚀刻系统,旨在提供亚微米精度级别的高性能蚀刻工艺。它是一种可靠、易于使用的工具，适用于研究和生产应用。AMAT DPS2AE Etch/Asher Unit是一款高端等离子体干蚀刻机，具有集成的平面磁控管、计算机控制的气流输送工具和高压双室设计。这项资产非常适合蚀刻各种半导体材料，包括硅基材料、SiGe和GaAs。该模型还支持统计过程控制，允许用户自动化其过程序列并提高质量保证。APPLICED MATERIALS DPS2AE Etch/Asher Equipment旨在达到当今先进半导体制造技术的蚀刻要求。其双腔室设计提供精确、平衡的工艺控制，高速开关阀确保对蚀刻工艺条件的实时反应。系统的原位控制也能够根据用户定义的规范优化蚀刻工艺参数。DPS2AE Etch/Asher Unit使用高级软件来方便其运行。用户界面包含详细的参数条目、间隙识别、进程序列编程和数据日志记录。该软件还针对最具挑战性的工艺要求提供自动蚀刻配方。AMAT/APPLIED MATERIALS DPS2AE Etch/Asher Machine能够在极低粒子生成的情况下实现高蚀刻质量。它还具有出色的材料兼容性,并且可以重复蚀刻含铝层。该工具可提供足够的蚀刻均匀性，可用于各种工艺步骤，包括浅沟蚀刻、停电/过度填充蚀刻和平面化。最后,AMAT DPS2AE Etch/Asher Asset提供了出色的流程一致性。它提供了过程可重复性、稳定性和端点控制,为高度关键的蚀刻任务提供了所需的精度和准确性。该模型还减少了危险废物，使其成为一种无害环境的解决办法。APPLICED MATERIALS DPS2AE Etch/Asher Equipment结合了所有这些特性,是一种可靠、高性能的半导体材料蚀刻和灰化系统。
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