二手 AMAT / APPLIED MATERIALS E-max #9181384 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS E-max是一种高级蚀刻器/asher设备,旨在支持先进的晶圆阵列应用。AMAT E-max 蚀刻器/asher在单个系统中结合了蚀刻、ashplasma和RIE（反应性离子干蚀刻）工艺。这为晶片处理操作提供了一个动态体系结构,具有高的生产率、卓越的过程可重复性和最小的维护。单元架构由生产核心和测试核心两个并行子系统组成。生产核心提供过程气氛、装卸和过程控制，而测试核心则用于过程开发和生产批次的验证。APPLIED MATERIALS E-max提供了许多高级功能,以提高效率和提高产量。它支持高效的灰质体处理，最小的溅射损伤和最小的灰分沉积。通过使用先进的多区域处理和多射频电源，进一步提高了工艺的均匀性。该机器还配备了实时诊断工具，提供等离子体环境的原位诊断能力，使流程优化和改进成为可能。除了先进的工艺能力外，E-max还采用先进的原位洁净室技术，可实现低成本、高效的无颗粒清洁。这可以显着降低晶片加工成本，因为污染物可以就地清除，从而减少了在单独处理步骤中手动清洗的需要。最后,AMAT/APPLIED MATERIALS E-max提供了与各种MES/SAP系统集成的全流程自动化和集成解决方桉。这样可以在晶圆处理操作期间实时获取数据和控制过程,从而实现精度和过程优化。AMAT E-max为晶圆处理操作提供了可靠且经济高效的解决方桉。其先进的蚀刻、ashplasma和RIE功能使过程可重复性和原位清洁能够降低成本。资产的实时诊断和自动化解决方桉可实现准确性和流程优化。所有这些功能结合在一起,使APPLIED MATERIALS E-max成为任何高级晶圆处理应用程序的功能强大且用途广泛的蚀刻器/asher。