二手 AMAT / APPLIED MATERIALS EFEM for etcher #9376103 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS EFEM for etcher是一款功能齐全的蚀刻设备,旨在满足各种行业的需求。EFEM具有高吞吐量、精确的层厚度控制和低消耗品消耗,为高精度蚀刻应用提供了灵活且经济实惠的解决方桉。EFEM系统包括一个能蚀刻多种晶圆尺寸的真空室，带有两轴机械级，方便晶圆在腔内放置。射频发电机为腔室供电，该腔室用于蚀刻晶圆表面上的材料。气箱为蚀刻过程提供受控气氛，真空歧管调节腔室压力和流量。EFEM还具有一个负载锁定单元,允许从腔室加载和卸载晶片。这台机器消除了人与蚀刻室的接触，有助于减少空气中的颗粒，提高蚀刻效果。此外,负载锁定工具允许用户按顺序处理多个晶片,从而提高吞吐量并实现高效处理以实现高精度蚀刻。该资产的设计效率很高，生产率很高，配备了高效的射频发电机和一个低消耗的燃气箱。射频发电机提供出色的蚀刻速率和均匀性,确保最终产品达到最高质量标准。燃气箱消耗少量消耗品，降低了与蚀刻工艺相关的成本。EFEM配备了内置的计量模型，允许用户测量蚀刻速率、临界尺寸（CD）控制、厚度控制、层表面质量等各种参数。此设备使用户能够监控蚀刻过程并调整参数以实现所需的蚀刻性能。用于蚀刻器的AMAT EFEM是经济高效生产高精度蚀刻的绝佳选择。设计可靠、高效、准确，提供出色的层级控制、均匀蚀刻、快速吞吐量。该系统先进的技术和特点使其成为寻求经济可靠蚀刻解决方桉的公司的理想选择。
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