二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Enabler E2 #293589575 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Enabler E2平台是先进的蚀刻/灰烬处理设备。它用于具有挑战性的蚀刻和灰烬应用，由两个独立的腔室组成，以提高灵活性。第一室作为蚀刻器，第二室作为灰烬。这些室可以独立配置和操作，使其适合用于串联过程。该腔室有一个载荷锁，用于将晶片进出腔室，使其能够成批处理。它还有一个集成真空系统，确保一致的，可重复的处理条件。AMAT Enabler E2平台旨在提供高水平的过程控制,有助于实现可重复的结果。它利用多种工具监控温度、压力和射频功率等工艺条件，以及压力、温度和RPM控制等一整套腔室控制系统。这样可以确保适当的物料去除速率和均匀性。该单元设计用于各种应用，如铜蚀刻、硅蚀刻和晶圆蚀刻。它还能与各种材料配合使用，如硅、​​的、低k的介电材料。平台为高纵横比蚀刻、深沟蚀刻、选择性蚀刻等苛刻应用提供了卓越的蚀刻均匀性。APPLIED MATERIALS Enabler E2平台易于使用和维护,所有工艺参数都可以从前面板轻松调节,数据也可以自动显示在高分辨率液晶显示器上。该机具有多种内置的安全特性和保护，包括热电偶和温度传感器控制、串联粒子监控、闭环气体分布等。最后,Enabler E2平台是一种高级蚀刻/灰分处理工具,旨在提供高水平的过程控制和一致性。它适用于各种材料的蚀刻和灰化,具有多种功能,可确保可靠、一致的结果。